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公益社団法人応用物理学会極限ナノ造形・構造物性研究会主催
2020年2-4回合同極限ナノ造形・構造物性研究会 講演会
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| 日程 |
2020年10月26日（月）-27日（火） |
場所
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Web会議システム（Webex）, 東北大学 多元物質科学研究所 南総合研究棟（仙台市青葉区片平）、緑水亭（仙台市太白区秋保町） |
| 参加方法 |
参加資格
事前登録制（賛助会員・個人会員に限る）登録〆切9月30日
Web参加（参加費無料）
各社（所属）の運営委員を通じて、参加申込み（氏名・メールアドレス）をお願いいたします。
＊運営委員リスト http://singlenano.org/committee.html
＊同一所属で申込み多数の場合は、Webexの人数制限があるため、各社代表の運営委員と相談の上、参加人数を調整させていただきます。
＊10月23日（金）に事前登録者にアクセス方法を事務局より連絡いたします。
現地参加（参加費有料）
＊招待講演講師・運営委員からの回答に基づき、日程調整させていただいたため、現地参加者は締め切りました。
＊参加費13,350円（振込手数料自己負担）
＊別途ご案内に従い、期日までに振り込みをお願いいたします。
＊コロナ感染症対策に基づく、キャンセル規程（別途送付）をご確認の上、振込みをお願いいたします。
＊振込が確認できた時点で、事前登録完了となります。;
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| プログラム(敬称略） |
10月26日
（月）
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第1部
12:30 開場
13:00 開会挨拶
13:10
『EUV リソグラフィの世界動向』
古澤 孝弘 （大阪大学）
14:00
『レジスト材料の基板界面に係わる現象』
八重樫 英民 （東京エレクトロン）
14:50 休憩
15:00
『半導体フォトカソード電子源を特徴とする電子ビーム検査技術』
西谷 智博 （フォトエレクトロンソウル・名古屋大学）
15:50
『半導体デバイス製造用ナノインプリント装置の現状』
酒井 啓太 （キヤノン）
16:40 第一部終了挨拶・WEB 意見交換会のご案内
第2部
20:00 WEB 意見交換会（講師を囲む会他）
WEB①会場 講師（古澤様、八重樫様、森様）
WEB②会場 講師（酒井様、下畠様、岩見様）
WEB③会場 造形セッション 自由討論
WEB④会場 構造物性セッション 自由討論
第2 部終了（最大22：00 まで）
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10月27日
（火） |
第3部
8:30 開場
9:00
『光学メタマテリアル・メタレンズの最近の動向』
岩見 健太郎 （東京農工大学）
9:50
『ナノ構造制御による高性能熱電材料の開発』
森 孝雄 （物質材料研究機構）
10:40
『EUV レジストの最新動向』
下畠 孝二 （ダイセル）
11:30 閉会挨拶
＊閉会後、運営委員会（11：50－12：50）をWEB会場⑤にて開催いたします。
＊現地参加者は、研究室見学会にご参加いただけます。;
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