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公益社団法人応用物理学会シングルナノパターニング研究グループ主催
2013年度第2回シングルナノパターニング研究グループ講演会 |
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| 日程 |
平成25年5月21日（火）
13:10〜17:00
受付12:40〜
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| 場所 |
東京工業大学 大岡山キャンパス
西9号館１階 コラボレーションルーム
東急線大岡山駅より徒歩5分 |
| 参加申込 |
会員のみ参加可能。
3月下旬にメールでご案内致します。 |
| 半導体の微細化に伴ってナノ加工の技術革新が行われてきており、2020年代には、シングルnmレベルのナノパターニング技術が必要となる。「シングルnmパターニング」については、日本では、まだ研究がスタートしていない段階であるが、欧米では、次世代デバイス製造のキーテクノロジーとして、積極的な研究開発が推進されている。本研究グループでは、シングルナノパターニングの実現と、そこから生まれる革新的な研究領域の創成に向けて、「誘導自己組織化」、「ナノインプリント」、「ナノデバイス」をコア研究と捉えこれらの技術を深化融合させ、材料、プロセス、デバイス、計算科学を有機的に結合した、シングルナノパターニングの新分野の確立を目指している。本講演会では、誘導自己組織化、分子エレクトロニクスで先駆的な研究を行われている講師にご講演をお願いしました。研究グループ会員の方のご来場、お待ちしています。 |
| プログラム |
| 13：10−14：00 |
「ブロックコポリマーの配向自己組織化によるナノパターニング」
竹中 幹人（京都大学 大学院工学研究科）
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| 14：00−14：50 |
「アメリカローレンスバークレー研究所におけるNIL, DSA研究の現状」
廣芝 伸哉（名古屋工業大学 機械工学科）
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| 15：10−16：00 |
「分子を使ったトンネル電流の制御：Siデバイスと分子機能の融合を探る」
若山 裕（物質・材料研究機構）
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| 16：00−17：00 |
「界面配位プログラミングによる錯体分子ネットワークの合成と電子機能」
西原 寛（東京大学 大学院理学系研究科）
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