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公益社団法人応用物理学会極限ナノ造形・構造物性研究会主催
2020年2回極限ナノ造形・構造物性研究会
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| 日程 |
2020年4月16日（木） 13:10-17:00 講演会 受付12:20- |
場所
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東北大学東京サイト9F 913号室
日本橋ライフサイエンスビルディング
東京都中央区日本橋本町2-3-11
■東京メトロ銀座線・半蔵門線
「三越前」駅 Ａ6出口より徒歩3分
■ＪＲ総武線
「新日本橋」駅6番出口より徒歩2分
■ＪＲ山手線・京浜東北線・中央快速線
「神田」駅 南口より徒歩11分
「東京」駅 日本橋口より徒歩13分 |
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| 参加方法 |
会員のみ参加可（ご案内は2月13日に送らせて頂きました。）
下記の申込フォームからお申込みください。お申込みが出来ない場合は、E-mailにてお知らせください。
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| プログラム(敬称略) |
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13:10-14:10
(60分)
EUVリソグラフィの世界動向
古澤 孝弘（大阪大学）
14:10-14:40 (30分)
新規主鎖切断型電子線レジストの開発
蒲田 耕平(日本ゼオン)
14:40-15:10 コーヒーブレイク
15:10-16:00
(50分)
EUVレジストの最新動向
下畠 孝二（ダイセル）
16:00-16:50
(50分)
半導体デバイス製造用ナノインプリント装置の現状
酒井 啓太（キヤノン）
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