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公益社団法人応用物理学会極限ナノ造形・構造物性研究会主催
2016年2回極限ナノ造形・構造物性研究会
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日程 |
2016年4月11日（月） 13:10～16:50
受付:12:40～ |
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場所
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早稲田大学 研究開発センター
120-5号館 ASMeW建物 121号室
 早稲田大学AsMeW建物地図
http://www.all-nano.waseda.ac.jp/nanolife/contact.html
〒162-0041
東京都新宿区早稲田鶴巻町513番地
早稲田駅（東京メトロ東西線）で下車し、2出口または3a出口から徒歩4分
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| 参加方法 |
会員のみ参加可能。
3月9日頃にご案内をお送り致します。 |
| プログラム |
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| 13:10-14:00 |
「シミュレーションを用いた誘導自己組織化（DSA）技術の最適化」
吉元 健治（京都大学）
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| 14:00-14:50 |
「sub-10 nmパターンを目指した垂直配向型ブロック共重合体材料の創製」
早川 晃鏡（東京工業大学）
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14:50-15:10
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休憩
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15:10-16:00
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「DSA技術による表面金属ナノ構造集積体の創製とその応用」
藤川 茂紀（九州大学）
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16:00-16:50
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「ナノ構造造形の新展開（EUV、DSAを中心に）」
永原 誠司 （東京エレクトロン）
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