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公益社団法人応用物理学会極限ナノ造形・構造物性研究会主催
2015年第1回極限ナノ造形・構造物性研究会
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日程 |
平成27年3月16日（月）
13:20～17:00
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アリアル会議室五反田駅前本館
JR山手線五反田駅 西口 徒歩1分
都営浅草線五反田駅 A1出口 15m
東急電鉄池上線五反田駅 徒歩2分 |
| 参加方法 |
会員のみ参加可。
1月末にメールにてご案内致します。 |
| プログラム |
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| 13:20 - 14:10 |
「SPIE2015報告」
廣芝 伸哉 （東北大学）
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| 14:10 – 15:00 |
「ERATO下田ナノ液体プロジェクト」
下田 達也 （北陸先端科学技術大学院大学）
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15:00 – 15:20
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休憩
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15:20 – 16:10
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「半導体量産へ向けたDSA技術の最新状況」
永原 誠司 （東京エレクトロン（株））
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16:10 – 17:00
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「最新マスク電子ビーム描画装置」
吉武 秀介 （ニューフレアテクノロジー（株））
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