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 「シングルナノパターニング研究グループ」設立記念講演会 |
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| 日程 |
2013年2月1日（金） 13:00-16:50
受付開始12:20〜 当日は冊子（テキスト）のお渡しはございません。
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| 場所 |
東京工業大学（大岡山キャンパス）
大岡山キャンパス西9号館
デジタル多目的ホール
東急線大岡山駅より徒歩5分
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| 協賛団体 |
学振132委員会、
（応用物理学会）
ナノインプリント技術研究会
次世代リソグラフィ技術研究会
シリコン分科会
（高分子学会）
光応用・電子用材料研究会 |
| 参加申込方法 |
先着200名 参加費無料
Webからお申込みください |
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| プログラム |
| 13:00-13:10 |
挨拶
松井 真二 「シングルナノパターニング研究グループ」委員長
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| 13:10-14:00 |
基調講演
「世界のナノテク国家戦略の現況」
田中 一宜 （独）科学技術振興機構 研究開発戦略センター 上席フェロー
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| 14:00-14:50 |
招待講演
「半導体リソグラフィから見た“シングルナノパターニング”への期待」
東木 達彦 (株）東芝 セミコンダクター＆ストレージ社 半導体研究開発センター
リソグラフィ技術開発部 部長
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| 14:50-15:10 |
休憩
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| 15:10-16:00 |
招待講演
「シングルナノパターニングを目指す次世代リソグラフィ技術の研究状況」
岡崎 信次 ギガフォトン（株） EUV開発部 部長付
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| 16:00-16:50 |
「シングルナノパターニング研究の現況と研究課題」
松井 真二 「シングルナノパターニング研究グループ」委員長
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