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公益社団法人応用物理学会シングルナノパターニング研究グループ主催
2013年度第4回シングルナノパターニング研究グループ講演会
2014年度第1回シングルナノパターニング研究グループ講演会 |
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| 日程 |
平成26年1月24日（金）
13:20〜17:30
受付12:50〜
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| 場所 |
東京工業大学 大岡山キャンパス
西9号館１階 コラボレーションルーム
東急線大岡山駅より徒歩5分 |
| 参加申込 |
会員のみ参加可能。
会員の方には、12月18日にご案内をお送り致しました。 |
| プログラム |
| 13:20-14:20 |
「ナノインプリントリソグラフィのレジスト材料」
中川 勝（東北大学）
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| 14:20-15:10 |
「ヘリウムイオン顕微鏡技術を用いたナノ評価・加工」
小川 真一（産総研）
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15:10-15:30
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休憩
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| 15:30-16:10 |
「電子・イオンを用いたナノ加工技術」
伊藤 高臣（エリオニクス）
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| 16:10-17:30 |
「ＳＥＭ性能の現状と、今後の可能性」
多持 隆一郎（日立ハイテクノロジーズ）
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