公益社団法人応用物理学会シングルナノパターニング研究グループ
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公益社団法人応用物理学会シングルナノパターニング研究グループ主催
2013年度第4回シングルナノパターニング研究グループ
講演会
日程

成26年1月24日(金)
13:20〜17:30
受付12:50〜







場所 東京工業大学 大岡山キャンパス 
西9号館1階 コラボレーションルーム
東急線大岡山駅より徒歩5分
参加申込 会員のみ参加可能。
会員の方には、12月18日にご案内をお送り致しました。
プログラム
13:20-14:20 「ナノインプリントリソグラフィのレジスト材料」
  中川 勝(東北大学)

14:20-15:10
「ヘリウムイオン顕微鏡技術を用いたナノ評価・加工」
  小川 真一(産総研)

15:10-15:30
休憩

15:30-16:10 「電子・イオンを用いたナノ加工技術」
  伊藤 高臣(エリオニクス)


16:10-17:30 「SEM性能の現状と、今後の可能性」
  多持 隆一郎(日立ハイテクノロジーズ)



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